Thorlabs索雷博 QS20X-AG 单轴扫描振镜系统

QS20X-AG - Ø20 mm光束振镜系统，X轴反射镜，有保护层的银膜(电源和电缆单独出售)

详情

应用

激光打标
增材制造
激光雕刻
焊接
微加工
激光钻孔
烧蚀/表面纹理
切割/划线
激光扫描显微镜
激光投影

特性

动磁式电机设计，实现快速响应：200 - 1200 µs
高精度光学或电容式反射镜位置探测(详情请看表1.1)
提供三种反射镜镀膜：
- 定制有保护层的银膜，450 nm - 10.6 µm
- Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm
- Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm
633 nm下具有高反射率，用于对准激光器
模拟PID控制电路，带电流阻尼
附带24英寸(610 mm)驱动电缆
可单独购买电源、命令接口电缆、电源线、扫描仪安装座和伺服驱动器安装座

VantagePro^®高速扫描振镜反射镜定位系统用于集成到OEM或自搭建的激光束控制应用中。我们提供多种型号，适用的最大光束直径为45 mm。每个系统包含1个带反射镜的单轴振镜电机和1张搭配使用的驱动卡。点击下方产品型号旁的红色文档图标()，可查看产品尺寸和安装特性。使用夹具可以安装反射镜/电机组件，以固定伺服轴。兼容的±15 V电源(开放式或封闭式)以及命令接口电缆和安装座都在下方单独出售。有关配合振镜使用的电源、电缆和安装座列表，请看振镜兼容性标签。

用户必须提供函数发生器或其他模拟电压输出设备，才能操作伺服驱动器。反射镜有三种镀膜选项，定制有保护层的银膜、用于355 nm或1064 nm膜层，如表1.1所示。可根据要求定制镀膜。更多详细信息，请联系技术支持。我们还提供使用这些扫描头的双轴振镜系统。

伺服驱动板
这些闭环伺服驱动器获取电机内部位置探测系统的信号，产生将反射镜转动到所需位置的驱动电压。高带宽确保快速准确地追踪模拟命令波形。

两种驱动器均有比例-积分-微分(PID)伺服驱动电路，并带有先进的电流阻尼功能，可实现高性能。驱动器集成了低噪声组件，以最大程度提高信噪比，优化准确度；还集成了低偏移组件，以降低温度变化的影响。根据反射镜-振镜组合选择并调整陷波滤光片，以最大程度地提高系统带宽，从而实现更快、更准确的扫描。这些系统非常适合步进定位、矢量定位(如激光打标)和光栅定位(打印或扫描激光显微镜)等应用。

伺服系统经过优化，能够在各类应用中实现高速精确定位。针对用于最大光束直径为4或5 mm和≥15 mm的扫描仪，伺服系统还配有双输出功率放大器，可在不降低性能的情况下保持对较大电机的功率需求适中。伺服驱动电路提供软启动/停止操作、AGC开路故障以及过压/欠压保护。电路板上的LED指示灯表示伺服状态和故障情况，同时诊断端口可提供位置、速度、错误和电流信息。每个驱动器-振镜-反射镜组合都会经过测试和调整，以满足相应的规格。振镜的唯一序列号也标在其对应的驱动板上。请注意，X轴和Y轴驱动器有各自搭配使用的伺服器，不可互换。

able 1.1 Single-Axis Galvanometer Scanner Selection Guide
Item # Prefix (X- or Y-Axis)	Mirror Coatings^a			Max Beam Diameter	Position Detector
Item # Prefix (X- or Y-Axis)	-AG	-Y3	-Y1	Max Beam Diameter	Position Detector
QG4(X)(Y)		-		4 mm	Optical
QG5(X)(Y)		-		5 mm
QS7(X)(Y)				7 mm
QS10(X)(Y)				10 mm
QS15(X)(Y)				15 mm
QS20(X)(Y)				20 mm
QS30(X)(Y)		-		30 mm	Capacitive
QS45(X)(Y)		-		45 mm	Capacitive
Power Supply & Command Cables

型号后缀、膜层和波长范围：
- -AG：定制有保护层的银膜，450 - 10.6 µm
- -Y3：Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm
- -Y1：Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm

Galvanometer Scanner Specs
Item # Prefix		QG4X QG4Y	QG5X QG5Y	QS7X QS7Y	QS10X QS10Y	QS15X QS15Y	QS20X QS20Y	QS30X QS30Y	QS45X QS45Y
Max Beam Diameter		4 mm	5 mm	7 mm	10 mm	15 mm	20 mm	30 mm	45 mm
Mirror Substrate		Fused Silica							Silicon Carbide
Step Response Time (0.4° Optical^a)		200 µs ± 5%^b	250 µs ± 5%^b	250 µs	350 µs	600 µs	650 µs	1200 µs	1200 µs
Mechanical and Electrical Specs
Rated Excursion^a		±15°	±20°	±22.5°
Rotor Inertial Load	Recommended	0.018 g·cm²		0.17 g·cm²		1.8 g·cm²		5.1 g·cm²
Rotor Inertial Load	Max	0.09 g·cm²		0.85 g·cm²		9 g·cm²		25 g·cm²
Torque Constant		29 300 dyne·cm/A		40 000 dyne·cm/A		180 000 dyne·cm/A		280 000 dyne·cm/A
Coil Resistance		4.7 Ω		1.3 Ω		3.0 Ω		5.8 Ω
Coil Inductance		110 µH @ 1 kHz		76 µH @ 1 kHz		530 µH @ 1 kHz		450 µH @ 1 kHz
Position Detector
Type		Optical						Capacitive
Linearity @ Full Excursion		≥99.88%		99.8% @ ±20°				>99.9%
Gain Drift		< 30 ppm/°C		50 ppm/°C				50 ppm/°C
Offset Drift		< 20 µrad/°C		30 µrad/°C				40 µrad/°C
Repeatability		≤20 µrad		10 µrad				15 µrad
Output Signal (Typ.)	Differential Mode^a	6 µA/°		7.1 µA/°				40 µA/°
Output Signal (Typ.)	Common Mode	300 µA		385 µA				2100 µA
Supply Current		15 - 30 mA		30 - 40 mA				10 - 20 mA
General Specs
Operating Temperature		0 to 40 °C (Non-Condensing)
Storage Temperature		-10 to 50 °C
Servo Shaft Size		Ø9.47 mm x 35.7 mm		Ø14 mm x 26.3 mm		Ø22 mm x 50 mm		Ø30.5 mm x 30 mm
Mass (Galvo Only)		23 g		36 g		128 g		306 g

所有角度均以光学角度表示。光学角度是机械角度的2倍。
步进响应时间是指振镜在指令位置稳定99%所需的时间。

Mirror Coating Specs
Item # Suffix	-AG	-Y3	-Y1
Coating Type	Custom Protected Silver	Hard Dielectric for Nd:YAG Laser 3^rd Harmonic	Hard Dielectric for Nd:YAG Laser Fundamental
Absolute Reflectance	≥92% (450 - 500 nm) ≥94.5% (500 - 2000 nm) ≥98% (2 - 10.6 µm)	≥99% (355 nm) ≥80% (633 nm)	≥98% (1064 nm) ≥80% (633 nm)
Surface Quality (Scratch-Dig)	40-20	20-10	40-20

Servo Amplifier Specs^a
Item # Prefix	QG4(X)(Y)	QG5(X)(Y)	QS7(X)(Y) QS10(X)(Y)	QS15(X)(Y) QS20(X)(Y) QS30(X)(Y) QS45(X)(Y)
Inputs
Command Input Range	±10 V		±5 V
Position Input Scale Factor^b	0.67 V/°	0.50 V/°	0.22 V/°
Command Input Impedance	20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended)		400 kΩ (Differential) 200 kΩ (Single Ended)	20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended)
Position Offset Range	±0.25 V
External Enable	See Footnote c for Details		TTL (Low: Disable Drive)	See Footnote c for Details
Diagnostic Outputs
Servo Ready	12 V		TTL	12 V
Position^b	0.33 V/°	0.50 V/°	0.22 V/°
Position Error^b	0.33V/°	0.50 V/°	0.22 V/°
Velocity	Analog (Reference Only)
AGC Voltage	Analog (DC)
Coil Current	1 V/A
Analog Output Impedance	1 kΩ ± 1% (For All Outputs)		Unbuffered	1 kΩ ± 1% (For All Outputs)
Power Supply (Not Included)
Input Voltage	±15 to ±24 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise		±15 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise	±15 to ±24 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise
Maximum Drive Current Limit	2 A (RMS); 6 A (Peak)		3 A (RMS); 10 A (Peak)	4 A (RMS); 10 A (Peak)
Quiescent Current	220 mA (Servo Enabled, Galvo at Rest)
Gain Drift	Up to 20 ppm/°C
Offset Drift	Up to 26 µrad/°C			Up to 30 µrad/°C
General Specs
Operating Temperature	0 to 45 °C (With Appropriate Cooling)
Storage Temperature	-10 to 60 °C
Dimensions	2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm)		2.38" x 2.22" x 1.06" (60.5 mm x 56.4 mm x 27.0 mm)	2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm)
Mass (Weight)	74 g (2.6 oz)		49 g (1.7 oz)	74 g (2.6 oz)

预热2分钟之后达到规格。
所有角度均以光学角度表示。光学角度是机械角度的2倍。
启用引脚出厂时焊接在接通位置。如要启用远程控制，请去除焊接触点，或在购买前联系我们获取未焊接的版本。

联系电话 : 0755-83317774 移动电话 : 18938648240 Email : 1605935956@qq.com QQ : 1605935956

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