Thorlabs索雷博 QS15XY-Y3 双轴扫描振镜系统

特性

• 动磁式电机设计，能够快速响应(对于Ø7 mm光束，反射镜扫描0.4°的响应为250 µs)
• 高精度光学或电容式反射镜位置探测(详情请看表1.1)
• 提供四种反射镜镀膜：
  • 有保护层的银膜，450 nm - 10.6 µm
  • Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm
  • Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm
  • CO₂激光器介质膜，10.64 µm
• 633 nm下具有高反射率，用于对准激光器
• 模拟PID控制电路，带电流阻尼
• 附带24英寸(610 mm)驱动电缆
• 可单独购买电源、电源线、命令接口电缆和伺服驱动器安装座

应用

• 激光打标
• 增材制造
• 激光雕刻
• 焊接
• 微加工
• 激光钻孔
• 烧蚀/表面纹理
• 切割/划线
• 激光扫描显微镜
• 激光投影

VantagePro^®高速扫描振镜反射镜定位系统用于集成到OEM或自搭建的激光束控制应用中。我们提供多种型号，适用的最大光束直径为45 mm。每个系统包含1个带反射镜的双轴振镜扫描头和1张搭配使用的驱动卡。点击下方产品型号旁的红色文档图标()，可查看产品尺寸和安装特性。兼容的±15 V电源(开放式或封闭式)以及命令接口电缆在下方单独出售。有关配合振镜使用的电源和电缆列表，请看振镜兼容性标签。

用户必须提供函数发生器或其他模拟电压输出设备，才能操作伺服驱动器。反射镜有四种镀膜选项，如表1.1所示。可根据要求定制镀膜。更多详细信息，请联系技术支持。我们还提供使用这些扫描头的单轴振镜系统。

伺服驱动板
这些闭环伺服驱动器获取电动机内部位置探测系统的信号，产生将反射镜转动到所需位置的驱动电压。高带宽确保快速准确地追踪模拟命令波形。

两种驱动器均有比例-积分-微分(PID)伺服驱动电路，并带有先进的电流阻尼功能，可实现高性能。驱动器集成了低噪声组件，以最大程度提高信噪比，优化准确度；还集成了低偏移组件，以降低温度变化的影响。根据反射镜-振镜组合选择并调整陷波滤光片，以最大程度地提高系统带宽，从而实现更快、更准确的扫描。这些系统非常适合步进定位、矢量定位(如激光打标)和光栅定位(打印或扫描激光显微镜)等应用。

伺服系统经过优化，能够在各类应用中实现高速精确定位。针对用于最大光束直径≥15 mm的扫描仪，伺服系统还配有双输出功率放大器，可在不降低性能的情况下保持对较大电机的功率需求适中。伺服驱动电路提供软启动/停止操作、AGC开路故障以及过压/欠压保护。电路板上的LED指示灯表示伺服状态和故障情况，同时诊断端口可提供位置、速度、错误和电流信息。每个驱动器-振镜-反射镜组合都会经过测试和调整，以满足相应的规格。振镜的唯一序列号也标在其对应的驱动板上。

Table 1.1  Dual-Axis Galvanometer Scan Head Selection Guide
Item # Prefix	Mirror Coatingsa				Max Beam Diameter	Position Detector
	-AG	-Y3	-Y1	-CD
QS7XY				-	7 mm	Optical
QS10XY				-	10 mm
QS15XY				-	15 mm
QS20XY					20 mm
QS30XY		-			30 mm	Capacitive
QS45XY		-			45 mm
Power Supply & Command Cables

• 型号后缀、膜层和波长范围：
  • -AG：有保护层的银膜，450 - 10.6 µm
  • -Y3：Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm
  • -Y1：Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm
  • -CD：CO₂激光器介质膜，10.64 µm

Key Specsa
Item #	Mirror Coating	Max Beam Diameter	Position Detector	Rated Excursion	Excursion Angle vs. Frequencyb	Recommended Rotor Inertial Load	Step Response Timec
QS7XY-AG	Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm)	7 mm	Optical	±22.5° Optical	(Click for Graph) Raw Data	0.17 g·cm2	250 µs
QS7XY-Y3	Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)
QS7XY-Y1	Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)

• 请在规格标签查看完整规格。
• 带X轴反射镜的QS7X振镜的典型值，因Y轴反射镜的形状和负载不同，QS7XY振镜的性能会略有不同。详情请见手册。
• 步进响应时间是指振镜在指令位置稳定至90%所需的时间。

每个系统都包含振镜扫描头、驱动板和驱动电缆。下方可单独购买兼容的GPWR15电源和CBLS2F命令接口和电源线(双轴系统需要两套)，或GPS011系列线性电源和CBLS2P命令接口和电源线(双轴系统需要两套)。

Key Specsa
Item #	Mirror Coating	Max Beam Diameter	Position Detector	Rated Excursion	Excursion Angle vs. Frequencyb	Recommended Rotor Inertial Load	Step Response Timec
QS10XY-AG	Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm)	10 mm	Optical	±22.5° Optical	(Click for Graph) Raw Data	0.17 g·cm2	350 µs
QS10XY-Y3	Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)
QS10XY-Y1	Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)

• 请在规格标签查看完整规格。
• 带X轴反射镜的QS10X振镜的典型值，因Y轴反射镜的形状和负载不同，QS10XY振镜的性能会略有不同。详情请见手册。
• 步进响应时间是指振镜在指令位置稳定至90%所需的时间。

每个系统都包含振镜扫描头、驱动板和驱动电缆。下方可单独购买兼容的GPWR15电源和CBLS2F命令接口和电源线(双轴系统需要两套)，或GPS011系列线性电源和CBLS2P命令接口和电源线(双轴系统需要两套)。

Key Specsa
Item #	Mirror Coating	Max Beam Diameter	Position Detector	Rated Excursion	Excursion Angle vs. Frequencyb	Recommended Rotor Inertial Load	Step Response Timec
QS15XY-AG	Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm)	15 mm	Optical	±22.5° Optical	(Click for Graph) Raw Data	1.8 g·cm2	600 µs
QS15XY-Y3	Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)
QS15XY-Y1	Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)

• 请在规格标签查看完整规格。
• 带X轴反射镜的QS15X振镜的典型值，因Y轴反射镜的形状和负载不同，QS15XY振镜的性能会略有不同。详情请见手册。
• 步进响应时间是指振镜在指令位置稳定至90%所需的时间。

每个系统都包含振镜扫描头、驱动板和驱动电缆。下方可单独购买兼容的GPWR15电源和CBLS3F命令接口和电源线(双轴系统需要两套)，或GPS011系列线性电源和CBLS3P命令接口和电源线(双轴系统需要两套)。

Key Specsa
Item #	Mirror Coating	Max Beam Diameter	Position Detector	Rated Excursion	Excursion Angle vs. Frequencyb	Recommended Rotor Inertial Load	Step Response Timec
QS20XY-AG	Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm)	20 mm	Optical	±22.5° Optical	(Click for Graph) Raw Data	1.8 g·cm2	650 µs
QS20XY-Y3	Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)
QS20XY-Y1	Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)
QS20XY-CD	CO2 Laser: Rabs ≥ 99.5% (10.64 µm) Rabs ≥ 80% (633 nm)

• 请在规格标签查看完整规格。
• 带X轴反射镜的QS20X振镜的典型值，因Y轴反射镜的形状和负载不同，QS20XY振镜的性能会略有不同。详情请见手册。
• 步进响应时间是指振镜在指令位置稳定至90%所需的时间。

每个系统都包含振镜扫描头、驱动板和驱动电缆。下方可单独购买兼容的GPWR15电源和CBLS3F命令接口和电源线(双轴系统需要两套)，或GPS011系列线性电源和CBLS3P命令接口和电源线(双轴系统需要两套)。

Key Specsa
Item #	Mirror Coating	Max Beam Diameter	Position Detector	Rated Excursion	Excursion Angle vs. Frequencyb	Recommended Rotor Inertial Load	Step Response Timec
QS30XY-AG	Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm)	30 mm	Capacitive	±22.5° Optical	(Click for Graph) Raw Data	5.1 g·cm2	1200 µs
QS30XY-Y1	Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)
QS30XY-CD	CO2 Laser: Rabs ≥ 99.5% (10.64 µm) Rabs ≥ 80% (633 nm)

• 请在规格标签查看完整规格。
• 带X轴反射镜的QS30X振镜的典型值，因Y轴反射镜的形状和负载不同，QS30XY振镜的性能会略有不同。详情请见手册。
• 步进响应时间是指振镜在指令位置稳定至90%所需的时间。

每个系统都包含振镜扫描头、驱动板和驱动电缆。下方可单独购买兼容的GPWR15电源和CBLS3F命令接口和电源线(双轴系统需要两套)。

Key Specsa
Item #	Mirror Coating	Max Beam Diameter	Position Detector	Rated Excursion	Excursion Angle vs. Frequencyb	Recommended Rotor Inertial Load	Step Response Timec
QS45XY-AG	Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm)	45 mm, Converging	Capacitive	±22.5° Optical	(Click for Graph) Raw Data	5.1 g·cm2	1200 µs
QS45XY-Y1	Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm)
QS45XY-CD	CO2 Laser: Rabs ≥ 99.5% (10.64 µm) Rabs ≥ 80% (633 nm)

• 请在规格标签查看完整规格。
• 带X轴反射镜的QS45X振镜的典型值，因Y轴反射镜的形状和负载不同，QS45XY振镜的性能会略有不同。详情请见手册。
• 步进响应时间是指振镜在指令位置稳定至90%所需的时间。

每个系统都包含振镜扫描头、驱动板和驱动电缆。下方可单独购买兼容的GPWR15电源和CBLS3F命令接口和电源线(双轴系统需要两套)，