Thorlabs索雷博 LMH-50X-850 MicroSpot®高功率聚焦物镜
特性
- 适用于高功率工业激光器
- 中心波长532 nm，增透膜范围490 - 570 nm
- 中心波长850 nm，增透膜范围790 - 910 nm
- 中心波长1064 nm，增透膜范围980 - 1130 nm
- 全熔融石英透镜设计
- RMS螺纹(0.800英寸-36)外壳
- 损伤阈值≥15.0 J/cm2
(更多详情，请看损伤阈值标签)
应用
- 激光雕刻
- 激光切割
- 2D和3D光刻
- 3D打印
- 隐形切割
- 激光焊接
Click to Enlarge图1.1 此图表明了标签、工作距离和齐焦长度。物镜所刻规格的格式因制造商可能会有所不同。(有关显微镜物镜类型的更多信息，请查看物镜教程标签。)
Thorlabs高功率MicroSpot®聚焦物镜设计用于将轴向激光束聚焦成衍射极限光斑。我们提供的中心波长为532 nm、850 nm和1064 nm，增透膜范围分别为490 - 570 nm、790 - 910 nm和980 - 1130 nm。这些物镜可以用于常见的光纤激光器波长，包括515 nm、808 nm、1030 nm和1070 nm。中心波长为532 nm或1064 nm的物镜也非常适合Nd:YAG激光器；更多用于Nd:YAG激光器的光学元件，请参阅Nd:YAG光学元件标签。以下所有聚焦物镜提供≥15 J/cm2的损伤阈值(详细信息，请参阅损伤阈值标签)。每个MicroSpot物镜具有RMS螺纹，易于集成到现有系统，加上坚固的外壳和熔融石英透镜设计，能够满足工业或实验室使用需求。
聚焦物镜可用于各类需要强功率的应用中，比如激光切割或雕刻。在较低功率下，可用聚焦激光检测晶圆，或在光刻中激活特殊类型的光刻胶。由于本页的所有物镜视场有限，因此需要移动样品或物镜才能进行激光扫描。将这些物镜集成到系统中时，请注意，物镜上标出的放大倍率是假设物镜与焦距为200 mm的套筒透镜一起使用时的计算值。
每个50X物镜都配有一个带mm刻度的盖玻片校正环，适用于厚度从0到1 mm的熔融石英盖玻片。此外，1064 nm版本也有刻度，可用于最厚1.2 mm的碳化硅盖玻片。这些刻度跨越了物镜的大部分周长，便于流畅精确调节。找到恰当的位置之后，就可以利用附带的0.050英寸六角扳手拧紧校正环下方的固定螺丝，从而固定校正环。我们可根据客户要求定制诸如蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)、砷化镓(GaAs)和氮化镓(GaN)等特定盖玻片材料的刻度；更多详情，请联系技术支持。
与能够充满入射孔径，波长范围在450 - 2100 nm内的单色光源一起使用时，这些物镜能够产生接近衍射极限的光斑。但是，如果不再设计波长处使用，则规格标签列出的有效焦距会偏移，增透膜性能也不是最好。增透膜的曲线图请查看曲线标签。我们可以定制增透膜，用于优化处于其他波段的物镜的性能，详情请联系技术支持。在可见光以外的波长范围下工作时，请考虑使用Thorlabs的激光观察卡来帮助定位和对准光束。
我们的MicroSpot物镜具有RMS(0.800"-36)外螺纹，可以直接安装到我们的光纤耦合系统、DIY Cerna®显微镜系统和显微镜物镜转台；通过M32RMSS黄铜螺纹转接件，RMS螺纹可转换为M32 x 0.75螺纹。使用HCS013 RMS安装座可将5X、10X和20X物镜安装到我们任意的挠性位移台。使用HCS031安装座和SM1A3转接件可将50X物镜安装到我们的挠性位移台。我们的50X物镜包含一个物镜储存盒(OC2RMS盒盖和OC22盒身)，也可另外购买铝盖(RMSCP1)。
对于192 nm - 500 nm之间的波长，Thorlabs提供多种放大倍率的紫外MicroSpot激光聚焦物镜；这个范围覆盖很多用于固化光刻胶的准分子激光器，例如KrF激光器(248 nm)和ArF激光器(193 nm)。
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该图的阴影区域表示增透膜指定的波长范围。
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该图展示了每个面的反射率。该图的阴影区域表示增透膜指定的波长范围。
| AR Coating Specifications | |||
|---|---|---|---|
| Wavelength Range | Average Reflectance per Surface | Max Reflectance per Surface | Damage Threshold |
| 495 - 570 nm | < 0.2% (495 - 570 nm) | < 0.7% (488 - 580 nm) < 0.2% (503 - 553 nm) | 15 J/cm2 (532 nm, 20 Hz, 10 ns, Ø213 µm) |
MicroSpot®高功率聚焦物镜， 790 - 910 nm
| Item # | AR Coating Range | Transmission (Typical)a | Mb | WD | EFL | PFL | NA | EPc | OFN | Spot Sized | Design Tube Lens Focal Lengthe | Cover Glass Correction | RMS Thread Depth |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LMH-50X-850 | 790 - 910 nm | >95% | 50X | 2.3 mmf | 4 mm | 45.0 mmf | 0.65 | 5.3 mm | 22 | 1.2 µm | 200 mm | 0.0 - 1.0 mm of Fused Silica | 4.5 mm |
- 指定在850 nm下。点击获取曲线图查看作为波长函数的透过率。
- 使用200 mm焦距的套筒透镜确定
- 入瞳直径(EP)在物镜后孔径处定义
- 理论光斑尺寸由λ = 850 nm处的(1.83*λ)/(2*NA)确定。假设高斯输入光束(其轮廓在1/e2直径处截断)充满EP。
- 有关套筒透镜和物镜的兼容性信息，请看放大率 &视场标签。
- 无盖玻片测量
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