应用
- 激光打标
- 增材制造
- 激光雕刻
- 焊接
- 微加工
- 激光钻孔
- 烧蚀/表面纹理
- 切割/划线
- 激光扫描显微镜
- 激光投影
特性
- 动磁式电机设计，实现快速响应：200 - 1200 µs
- 高精度光学或电容式反射镜位置探测(详情请看表1.1)
- 提供三种反射镜镀膜：
- 定制有保护层的银膜，450 nm - 10.6 µm
- Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm
- Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm
- 633 nm下具有高反射率，用于对准激光器
- 模拟PID控制电路，带电流阻尼
- 附带24英寸(610 mm)驱动电缆
- 可单独购买电源、命令接口电缆、电源线、扫描仪安装座和伺服驱动器安装座
VantagePro®高速扫描振镜反射镜定位系统用于集成到OEM或自搭建的激光束控制应用中。我们提供多种型号，适用的最大光束直径为45 mm。每个系统包含1个带反射镜的单轴振镜电机和1张搭配使用的驱动卡。点击下方产品型号旁的红色文档图标(
)，可查看产品尺寸和安装特性。使用夹具可以安装反射镜/电机组件，以固定伺服轴。兼容的±15 V电源(开放式或封闭式)以及命令接口电缆和安装座都在下方单独出售。有关配合振镜使用的电源、电缆和安装座列表，请看振镜兼容性标签。
用户必须提供函数发生器或其他模拟电压输出设备，才能操作伺服驱动器。反射镜有三种镀膜选项，定制有保护层的银膜、用于355 nm或1064 nm膜层，如表1.1所示。可根据要求定制镀膜。更多详细信息，请联系技术支持。我们还提供使用这些扫描头的双轴振镜系统。
伺服驱动板
这些闭环伺服驱动器获取电机内部位置探测系统的信号，产生将反射镜转动到所需位置的驱动电压。高带宽确保快速准确地追踪模拟命令波形。
两种驱动器均有比例-积分-微分(PID)伺服驱动电路，并带有先进的电流阻尼功能，可实现高性能。驱动器集成了低噪声组件，以最大程度提高信噪比，优化准确度；还集成了低偏移组件，以降低温度变化的影响。根据反射镜-振镜组合选择并调整陷波滤光片，以最大程度地提高系统带宽，从而实现更快、更准确的扫描。这些系统非常适合步进定位、矢量定位(如激光打标)和光栅定位(打印或扫描激光显微镜)等应用。
伺服系统经过优化，能够在各类应用中实现高速精确定位。针对用于最大光束直径为4或5 mm和≥15 mm的扫描仪，伺服系统还配有双输出功率放大器，可在不降低性能的情况下保持对较大电机的功率需求适中。伺服驱动电路提供软启动/停止操作、AGC开路故障以及过压/欠压保护。电路板上的LED指示灯表示伺服状态和故障情况，同时诊断端口可提供位置、速度、错误和电流信息。每个驱动器-振镜-反射镜组合都会经过测试和调整，以满足相应的规格。振镜的唯一序列号也标在其对应的驱动板上。请注意，X轴和Y轴驱动器有各自搭配使用的伺服器，不可互换。
| able 1.1 Single-Axis Galvanometer Scanner Selection Guide | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Item # Prefix (X- or Y-Axis) | Mirror Coatingsa | Max Beam Diameter | Position Detector | ||
| -AG | -Y3 | -Y1 | |||
| QG4(X)(Y) |  | - | 4 mm | Optical | |
| QG5(X)(Y) |  | - | 5 mm | ||
| QS7(X)(Y) |  |  |  | 7 mm | |
| QS10(X)(Y) |  | 10 mm | |||
| QS15(X)(Y) |  | 15 mm | |||
| QS20(X)(Y) |  | 20 mm | |||
| QS30(X)(Y) |  | - |  | 30 mm | Capacitive |
| QS45(X)(Y) |  | - |  | 45 mm | |
| Power Supply & Command Cables | |||||
- 型号后缀、膜层和波长范围：
- -AG：定制有保护层的银膜，450 - 10.6 µm
- -Y3：Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm
- -Y1：Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm
| Galvanometer Scanner Specs | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Item # Prefix | QG4X QG4Y | QG5X QG5Y | QS7X QS7Y | QS10X QS10Y | QS15X QS15Y | QS20X QS20Y | QS30X QS30Y | QS45X QS45Y | |
| Max Beam Diameter | 4 mm | 5 mm | 7 mm | 10 mm | 15 mm | 20 mm | 30 mm | 45 mm | |
| Mirror Substrate | Fused Silica | Silicon Carbide | |||||||
| Step Response Time (0.4° Opticala) | 200 µs ± 5%b | 250 µs ± 5%b | 250 µs | 350 µs | 600 µs | 650 µs | 1200 µs | 1200 µs | |
| Mechanical and Electrical Specs | |||||||||
| Rated Excursiona | ±15° | ±20° | ±22.5° | ||||||
| Rotor Inertial Load | Recommended | 0.018 g·cm2 | 0.17 g·cm2 | 1.8 g·cm2 | 5.1 g·cm2 | ||||
| Max | 0.09 g·cm2 | 0.85 g·cm2 | 9 g·cm2 | 25 g·cm2 | |||||
| Torque Constant | 29 300 dyne·cm/A | 40 000 dyne·cm/A | 180 000 dyne·cm/A | 280 000 dyne·cm/A | |||||
| Coil Resistance | 4.7 Ω | 1.3 Ω | 3.0 Ω | 5.8 Ω | |||||
| Coil Inductance | 110 µH @ 1 kHz | 76 µH @ 1 kHz | 530 µH @ 1 kHz | 450 µH @ 1 kHz | |||||
| Position Detector | |||||||||
| Type | Optical | Capacitive | |||||||
| Linearity @ Full Excursion | ≥99.88% | 99.8% @ ±20° | >99.9% | ||||||
| Gain Drift | < 30 ppm/°C | 50 ppm/°C | 50 ppm/°C | ||||||
| Offset Drift | < 20 µrad/°C | 30 µrad/°C | 40 µrad/°C | ||||||
| Repeatability | ≤20 µrad | 10 µrad | 15 µrad | ||||||
| Output Signal (Typ.) | Differential Modea | 6 µA/° | 7.1 µA/° | 40 µA/° | |||||
| Common Mode | 300 µA | 385 µA | 2100 µA | ||||||
| Supply Current | 15 - 30 mA | 30 - 40 mA | 10 - 20 mA | ||||||
| General Specs | |||||||||
| Operating Temperature | 0 to 40 °C (Non-Condensing) | ||||||||
| Storage Temperature | -10 to 50 °C | ||||||||
| Servo Shaft Size | Ø9.47 mm x 35.7 mm | Ø14 mm x 26.3 mm | Ø22 mm x 50 mm | Ø30.5 mm x 30 mm | |||||
| Mass (Galvo Only) | 23 g | 36 g | 128 g | 306 g | |||||
- 所有角度均以光学角度表示。光学角度是机械角度的2倍。
- 步进响应时间是指振镜在指令位置稳定99%所需的时间。
| Mirror Coating Specs | |||
|---|---|---|---|
| Item # Suffix | -AG | -Y3 | -Y1 |
| Coating Type | Custom Protected Silver | Hard Dielectric for Nd:YAG Laser 3rd Harmonic | Hard Dielectric for Nd:YAG Laser Fundamental |
| Absolute Reflectance | ≥92% (450 - 500 nm) ≥94.5% (500 - 2000 nm) ≥98% (2 - 10.6 µm) | ≥99% (355 nm) ≥80% (633 nm) | ≥98% (1064 nm) ≥80% (633 nm) |
| Surface Quality (Scratch-Dig) | 40-20 | 20-10 | 40-20 |
| Servo Amplifier Specsa | ||||
|---|---|---|---|---|
| Item # Prefix | QG4(X)(Y) | QG5(X)(Y) | QS7(X)(Y) QS10(X)(Y) | QS15(X)(Y) QS20(X)(Y) QS30(X)(Y) QS45(X)(Y) |
| Inputs | ||||
| Command Input Range | ±10 V | ±5 V | ||
| Position Input Scale Factorb | 0.67 V/° | 0.50 V/° | 0.22 V/° | |
| Command Input Impedance | 20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended) | 400 kΩ (Differential) 200 kΩ (Single Ended) | 20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended) | |
| Position Offset Range | ±0.25 V | |||
| External Enable | See Footnote c for Details | TTL (Low: Disable Drive) | See Footnote c for Details | |
| Diagnostic Outputs | ||||
| Servo Ready | 12 V | TTL | 12 V | |
| Positionb | 0.33 V/° | 0.50 V/° | 0.22 V/° | |
| Position Errorb | 0.33V/° | 0.50 V/° | 0.22 V/° | |
| Velocity | Analog (Reference Only) | |||
| AGC Voltage | Analog (DC) | |||
| Coil Current | 1 V/A | |||
| Analog Output Impedance | 1 kΩ ± 1% (For All Outputs) | Unbuffered | 1 kΩ ± 1% (For All Outputs) | |
| Power Supply (Not Included) | ||||
| Input Voltage | ±15 to ±24 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise | ±15 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise | ±15 to ±24 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise | |
| Maximum Drive Current Limit | 2 A (RMS); 6 A (Peak) | 3 A (RMS); 10 A (Peak) | 4 A (RMS); 10 A (Peak) | |
| Quiescent Current | 220 mA (Servo Enabled, Galvo at Rest) | |||
| Gain Drift | Up to 20 ppm/°C | |||
| Offset Drift | Up to 26 µrad/°C | Up to 30 µrad/°C | ||
| General Specs | ||||
| Operating Temperature | 0 to 45 °C (With Appropriate Cooling) | |||
| Storage Temperature | -10 to 60 °C | |||
| Dimensions | 2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm) | 2.38" x 2.22" x 1.06" (60.5 mm x 56.4 mm x 27.0 mm) | 2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm) | |
| Mass (Weight) | 74 g (2.6 oz) | 49 g (1.7 oz) | 74 g (2.6 oz) | |
- 预热2分钟之后达到规格。
- 所有角度均以光学角度表示。光学角度是机械角度的2倍。
- 启用引脚出厂时焊接在接通位置。如要启用远程控制，请去除焊接触点，或在购买前联系我们获取未焊接的版本。
开放式线性电源和命令接口电缆
放大- GPWR15电源：用于单轴和双轴系统的±15 V电源；一个电源可以为最多两个振镜供电
- QG、QS、SS和SP系列VantagePro®振镜扫描仪
- BLINK对焦器
- XG系列扫描头
- GPWR15电源规格
- 开放式外框需要焊接电缆
- 输入：100-120或220-240 VAC
- 输出：±15 V @ 5 A (150 W最大功率)
- 工作温度：0 - 50 °C
- 尺寸：14.0英寸 x 4.9英寸 x 3.5英寸(356 mm x 124 mm x 90 mm)
- CBLS2F: 命令接口电缆和电源线，用于QS7和QS10系列振镜扫描仪和BLINK高速对焦器(每个轴需要一套)
- CBLS3F: 命令接口电缆和电源线，用于QG4/5和QS15/20/30/45系列振镜扫描仪(每个轴需要一套)
GPWR15是一款低噪声的线性电源，用于将电干扰降至最低，以实现最高系统分辨率。兼容的系统包括QG、QS、SS和SP系列振镜扫描仪、BLINK对焦器和XG系列扫描头。此电源提供5 A、±15 VDC电压，并可配置成接受100 - 120或220 - 240 VAC的市电电压。它拥有开放式框架，便于用户把兼容的电源线焊接到系统中。
CBLS2F命令接口电缆和电源线组合可将GPWR15电源连接在QS7/10系列振镜扫描仪或BLINK高速对焦器上。电源线的一端有一个四引脚接头，兼容QS7/10系列振镜扫描仪或BLINK高速对焦器，而另一端是三根裸线，用于焊接在GPWR15电源上。命令接口电缆的一端有一个两引脚接头，兼容QS7/10系列振镜或BLINK对焦器，而另一端是三根裸线，用于焊接用户提供的控制器。
CBLS3F命令接口电缆和电源线组合可将GPWR15电源连接在QG4/5、QS15/20/30/45、SS或SP系列振镜扫描仪上。电源线的一端有一个三引脚接头，而另一端是三根裸线，用于焊接在GPWR15电源上。命令接口电缆的一端有一个四引脚接头，而另一端是三根裸线，用于焊接用户提供的控制器。
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