CAIKON蔡康 DMM-600C 大平台晶圆检测显微镜

组件及规格

目镜

大视野

WF10X(Φ20mm)

WF20X(Φ8.5mm)

平场分划

10X(0.10mm/格值)

物镜

平场消色差
（无盖玻片）

放大倍数/数值孔径

工作距离

PL5X/0.12

18.3

PLL10X/0.25

8.9

PLL20X/0.40

8.7

PLL40X/0.60（弹簧）

3.7

PL50X/0.70（弹簧）

2.02

放大倍数

光学放大:50X-1600X,系统放大倍数:50-2600X

目镜筒

三目镜

转轴式，倾斜30度，包括检偏振片

仪器主体

粗调、微调手轮，微调格值为0.002MM（底座及支架）

偏光装置

可插入式起偏振片,垂直照明装置,能进行一般金相分析、微粒分析测试，还能对不透明物体进行分析、观察。

载物台

尺寸：250 X 230mm有快速移动装置，移动范围：153 X 153mm

调焦机构

同轴粗微动调焦机构,微动格值2μm,带锁紧和限位装置.

照明系统

落射照明6V 20W，卤素灯，亮度可调带起偏振片落射照明6V 20W，卤素灯，亮度可调

滤片组

蓝、黄、绿、磨砂

转换器

滚珠内定位内弯,五孔转换

电脑摄像系统

1X摄影接口，标准C接口

CK-300数字摄像系统，分辨率：2048X1536， 芯片尺寸：1/2"， USB2.0连接,  图像质量好 ,色彩还原性好 ,图像稳定，有多种图像处理方式（详细参数见CK-300摄像机介绍）