特性
- 动磁式振镜，采用交叉挠性轴承设计
- 适用的最大光束直径30 mm；可根据要求定制更大光束尺寸的版本
- 流畅的扫描运动，非常适合光栅成像
- 交叉挠性轴承稳定性高
- 无润滑剂；适合真空应用
- 比滚珠轴承振镜的使用寿命更长
- 包含伺服驱动器
VantagePro®单轴振镜系统采用交叉挠性轴承设计，能够提供流畅稳定的扫描运动。与传统的滚珠轴承设计相比，交叉挠性轴承设计消除了因噪声和润滑引起的误差，同时减少了组件的磨损。这些动磁式振镜非常适合光栅成像应用、反馈稳定的成像系统，或用作跟踪扫描仪，以观察或标记移动的物体。
反射镜的角度方向(位置)通过电容式传感系统测量，这个系统集成在振镜内部，可以闭环工作。在连续光栅扫描应用中，可以驱动振镜系统扫描整个±20°的光学范围。矢量或即动即停(point-and-hold)应用中的操作应限制在±10°。详情请见左侧的绿色框。
交叉挠性轴承的振镜包含反射镜在水平轴(X)或竖直轴(Y)的版本。此外，振镜外壳还有Ø2.00英寸圆形轮廓或1.62英寸方形轮廓的选项，便于集成到各种各样的子组件中。反射镜接受最大30 mm的光束直径；也可以根据要求提供更大尺寸的反射镜。
附含的伺服驱动器必须连接到DC电源、振镜电机和输入电压源(可选监控连接)。对于连续扫描应用，带正弦波输出的函数发生器足以在整个范围内扫描振镜。而对于更复杂的扫描模式，则可以使用可编程电压源，例如DAQ卡。请注意，这些系统不包含函数发生器和DAQ卡。
兼容的电源(型号GPWR15)和配套的电缆(型号CBLS3F)单独出售。1个电源可以给最多2个振镜供电。每个振镜需要一根搭配使用的电缆。用于保护伺服驱动器的安装座(型号QDM2)可单独购买。
应用
- 光栅成像
- 激光打标
- 测量仪表
- 多面体加工
- 重载或小角度应用
| Key Specifications | ||||
|---|---|---|---|---|
| Item # | SS30X-AG | SS30Y-AG | SP30X-AG | SP30Y-AG |
| Housing Profile | Ø2.00" Round | 1.62" x 1.62" Square | ||
| Mirror Orientation | Horizontal | Vertical | Horizontal | Vertical |
| Mirror Coating | Protected Silver, 450 nm - 10.6 µm | |||
| Repeatability | < 10 µrad | |||
| Max Scan Angle (Optical Angle) | Raster: ±20° Vector: ±10° | |||
交叉挠性轴承与滚珠轴承
与采用滚珠轴承设计的振镜相比，这些振镜中使用的交叉挠性轴承机制能够提供更加流畅的扫描运动和更高的稳定性。挠性元件刚性耦合单个轴，尽量减少正交方向上的运动。对于连续光栅和小角度应用，交叉挠性轴承设计的磨损更少，定位误差更小，因此使用寿命更长，可重复性更高。
但是，交叉挠性轴承不适合需大角度转动反射镜并保持在这个位置的应用。因为挠性元件主要用于先弯曲然后再回到中线。给挠性元件施加持续的弯曲力会显著缩短其使用寿命。
| Item # | SS30X-AG | SS30Y-AG | SP30X-AG | SP30Y-AG |
|---|---|---|---|---|
| Housing Profile | Ø2.00" Round | 1.62" x 1.62" Square | ||
| Mirror | ||||
| Orientation | Horizontal (X-Axis) | Vertical (Y-Axis) | Horizontal (X-Axis) | Vertical (Y-Axis) |
| Maximum Beam Diameter | 30 mm | |||
| Coating | Protected Silver | |||
| Wavelength Range | 450 nm - 10.6 µm | |||
| Absolute Reflectance | ≥92% (450 - 500 nm) ≥94.5% (500 - 2000 nm) ≥98% (2 - 10.6 µm) | |||
| Surface Quality | 40-20 Scratch-Dig | |||
| Motor and Position Sensor | ||||
| Linearity (50% Full Travel) | >99.9% | |||
| Scale Drift | 190 ppm/°C | |||
| Zero Drift | 40 µrad/°C | |||
| Repeatability | < 10 µrad | |||
| Maximum Scan Angle (Optical Angle) | Raster: ±20° Vector: ±10° | |||
| Angular Sensitivity | 100 µA/° | |||
| Torque Constant | 2.8 x 105 dyne·cm/A | |||
| Rotor Inertia | 8.25 g·cm2 | |||
| Coil Resistance | 5.8 Ω | |||
| Coil Inductance @ 1 kHz | 450 µh | |||
| Operating Temperature | 0 to 40 °C | |||
| Storage Temperature | -10 to 50 °C | |||
| Servo Amplifier Specsa | |
|---|---|
| Inputs | |
| Command Input Range | ±5 V |
| Position Input Scale Factor | 0.22 V/° Optical |
| Command Input Impedance | 20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended) |
| Position Offset Range | ±0.25 V |
| External Enable | See Footnote b |
| Diagnostic Outputs | |
| Servo Ready | 12 V |
| Position | 0.22 V/° Optical |
| Position Error | 0.22 V/° Optical |
| Velocity | Analog (Reference Only) |
| AGC Voltage | Analog (DC) |
| Coil Current | 1 V/A |
| Analog Output Impedance | 1 kΩ ± 1% (For All Outputs) |
| Power Supply (Not Included) | |
| Input Voltage | ±15 to ±24 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise |
| Maximum Drive Current Limit | 4 A (RMS); 10 A (Peak) |
| Quiescent Current | 220 mA (Servo Enabled, Galvo at Rest) |
| Gain Drift | Up to 20 ppm/°C |
| Offset Drift | Up to 30 µrad/°C |
| General Specs | |
| Operating Temperature | 0 to 45 °C (With Appropriate Cooling) |
| Storage Temperature | -10 to 60 °C |
| Dimensions | 2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm) |
| Mass (Weight) | 74 g (2.6 oz) |
- 预热2分钟之后达到规格。
- 启用引脚出厂时焊接在接通位置。如要启用远程控制，请去除焊接触点，或在购买前联系我们获取未焊接的版本。
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图2.1 SS30振镜圆形主体的机械图纸(图示没有反射镜)
| GPWR15 Power Supply Unit Specs | |
|---|---|
| Input | 100 - 120 VAC or 220 - 240 VAC |
| Output | ±15 V at 5 A (150 W Max Power) |
| Operating Temperature | 0 to 50 °C |
| Dimensions | 14.0" x 4.9" x 3.5" (356 mm x 124 mm x 90 mm) |
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图2.2 SP30振镜方形主体的机械图纸(图示没有反射镜)
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