BOCIC北光世纪 TMS102M 整体多轴位移台
型号
TMS101M
TMS102M
调整轴数
XY两轴
XYZ三轴
行程(mm)
13
驱动方式
微分头
最小读数(mm)
0.01
分辨率(mm)
0.002
摆动误差
<30″
负载(kg)
5
2.5
自重(kg)
0.35
0.7
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