BOCIC北光世纪 MTS603 超精密电控平移台（精密重载型）

型号

MTS601

MTS602

MTS603

MTS604

行程（mm）

50

100

150

200

台面尺寸（mm）

120×120

150×120

导轨

线性滑块

螺杆导程（mm）

4

分辨率（mm）

0.00032

极限速度(mm/s)

20

40

重复定位精度（mm）

＜0.001

轴向间隙（mm）

＜0.004

步进电机（1.8°）

42步进电机

极限静转矩(Ncm)

40

50

中心负载（kg）

20

30

自重（kg）

4

6

8.5

12.5

备注

可选配防护罩，应用真空环境中，需单独订货