特性
- Multi-DM：12 x 12驱动器阵列(140个有效)
- 驱动器最大位移：3.5 μm
- 零迟滞
- 亚纳米级可重复性(平均步长小于1 nm)
- 驱动器间的串扰小(约13%)，所以空间分辨率高
- 提供铝膜、有保护层银膜或金膜反射镜(见曲线标签)
- 保护窗片带6°楔角，镀有用于400 - 1100 nm的宽带增透膜
- 1020个驱动器(Kilo-DM)的型号可通过Boston Micromachines Corporation购买
Thorlabs是Boston Micromachines Corporation(BMC)的合作伙伴，我们很高兴在此提供BMC的Multi-DM微机械可变形反射镜系统，以便用户在高级光学控制应用中使用。为了便于安装和搭建，每套产品都包含可变形反射镜、驱动器和控制软件。这些反射镜能够改变波前形状，从而校正高度畸变的入射波前(参考像差类型标签了解DM可校正的像差)。微机电系统(MEMS)可变形反射镜功能多样，技术成熟，具有高分辨率波前校正能力，广泛用于波前整形应用。
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图1.1 Multi-DM变形镜
(140个驱动器)
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图1.2 安装在KS2光学调整架中的DM140-35-UP01
这些多功能的DM采用多晶硅表面微加工技术制造，封装外形简单易用，可以提供精密的像差补偿。反射镜由一层薄膜构成，通过140个可单独控制的静电驱动器(即12 x 12个驱动器阵列，4个角上的驱动器是无效的)使薄膜变形。这些驱动器在小面积内提供3.5 μm行程。此外，包含1020个驱动器(即32 x 32个驱动器阵列，4个角上的驱动器是无效的)的Kilo-DM可通过BMC购买。Kilo-DM的驱动器提供1.5 μm行程。BMC反射镜使用静电驱动，所以在变形时不会像压电可变形反射镜一样产生迟滞。
图1.3 DM电气接口
Multi-DM和Kilo- DM反射镜有镀金膜、有保护层银膜或铝膜的版本。反射镜前有带6°楔角、镀400 - 1100 nm范围增透膜的保护窗片。有关镀膜曲线的信息，请看曲线标签。如需其它镀膜，请联系技术支持。虽然可变形反射镜在天文学上的应用是众所周知的，但它们作为微型精密波前控制器件，也能用于光束整形、显微学、激光通信和视网膜成像等应用中。
自适应光学
可变形反射镜是构成自适应光学(AO)系统的三种主要组件之一。AO系统可用于校正一束光的波前。DM配合波前传感器和控制软件可以组成闭环系统，实时主动校正相位畸变(更多信息，请点击自适应光学教程标签)。Thorlabs提供基于CMOS的Shack-Hartmann波前传感器。
这些系统一般用于国际天文学和美国国防领域，但是对于任何需要控制光相位的领域，它们都是锦上添花。如今，自适应光学应用已经渗透到众多领域中，包括飞秒脉冲整形、显微学、激光通信、视力矫正和视网膜成像等。
| Item # | DM140A-35-UP01 | DM140A-35-P01 | DM140A-35-UM01 | Kilo-3.5-DMa |
|---|---|---|---|---|
| Mirror Coating | Aluminum | Protected Silver | Gold | Aluminum, Protected Silver, or Gold |
| Actuator Array | 12 x 12 (140 Active)b | Ø34 (952 Active) | ||
| Actuator Stroke (Max)c | 3.5 µm | 3.5 µm | ||
| Actuator Pitch | 400 µm | 400 µm | ||
| Clear Aperture | 4.4 mm x 4.4 mm | Ø13.2 mm | ||
| Average Step Sized | < 1 nm | < 1 nm | ||
| Hysteresis | None | None | ||
| Fill Factore | >99% | >99% | ||
| Acceptance Angle | ±15° | ±45° | ||
| Mechanical Response Time (10% - 90%) | < 75 μs (~13.3 kHz) | < 80 μs (~12.5 kHz) | ||
| Surface Quality | < 30 nm (RMS) | < 30 nm (RMS) | ||
| Cable Length (from Mirror to Driver) | 60" | 2 m | ||
| Driver Specifications | ||||
| Frame Rate (Max) | 8 kHz | 34 kHz | ||
| Resolution | 14 Bit | 14 bit | ||
| Driver Dimensions | 9.0" x 7.0" x 2.5" (229 mm x 178 mm x 64 mm) | 19.0" x 18.5" x 5.25" (483 mm x 470 mm x 133 mm) | ||
| Computer Interface | USB 2.0 | PCIe Card | ||
- 可通过(BMC)购买这些反射镜。
- 角上的四个驱动器是无效的。
- 对于反射镜变形量与电压的关系以及RMS形状误差，请看曲线标签。
- 对于这些反射镜，驱动器间的串扰约为13%，这会使步长产生差异，差异大小取决于相邻驱动器的位置。
- 由于生产工艺中刻蚀通孔(约Ø2 µm)的透印，填充因子小于100%。
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