zolix卓立汉光 SPM600 半导体参数分析仪

zolix卓立汉光     SPM600      半导体参数分析仪

SPM600 系列半导体参数分析仪是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑，实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试，丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源，例如超连续白光激光器，皮秒脉冲激光器，半导体激光器，卤素灯，氙灯等，满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。

功能：

■ 光谱响应度

■ 单色光/变功率IV；

■ 不同辐照度IT曲线（分辨率200ms）

■ 不同偏压下的IT曲线

■ LBIC，Mapping

■ 线性度测试

■ 响应速率测试

■ 瞬态光电压

■ 瞬态光电流

光源选项

卓立汉光根据样品光谱相应范围选择适合的光源，如EQ 光源，氙灯光源，氙灯溴钨灯复合光源。

EQ光源

特点：

■ 光谱范围宽：190-1700nm宽光谱范围；

■ 光源本身发光点小，百微米级别；

■ 紫外波段亮度高；

■ 寿命长，理论寿命可达9000h；

■ 体积小，重量轻；散热好；

氙灯光源

特点：

■ 光谱范围宽：250-1700nm宽光谱范围；

■ 光源本身发光点较小，mm级别；

■ 总功率大，亮度高；适合紫外-可见-近红外光谱测试；

■ 灯泡更换简单，成本低；

氙灯卤素灯双光源

特点：

■ 光谱范围：250-2500nm

■ 适合紫外、可见、近红外，且可见、近红外波段光谱平滑

■ 灯泡更换简单，成本低。

数采选项

测试案例

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